<Recent News>

Nov. 2024    제주 롯데호텔에서 진행된 K-CHIPS 총괄워크숍 에 교수님과 연구실 학생들이 참가하였습니다.

Oct. 2024    서울 coex에서 진행된 한국세라믹학회 추계 학술대회에 김태현, 양하람 석사과정이 참가하였습니다.

  양하람 석사과정이 우수포스터상을 수상하여 상장을 수여받았습니다.

                    "Characterization of ZrO2 Thin Films after Atomic Layer Etching Process Using NF3 Plasma and TiCl4" / poster

Aug. 2024    헬싱키에서 진행된 The AVS 24th International Conference on Atomic Layer Deposition (ALD 2024) 에 이재준, 김형준 석사과정이 참가하였습니다.

Jun. 2024    한국전기전자재료학회에서 양하람, 김형준, 유경훈 석사과정이 poster session에서 최우수상을 수상하였습니다.

                           "Atomic Layer Etching of ZrO2 Thin Films with NF3 plasma and TiCl4 for DRAM Capacitors" /  poster - 양하람

        "Evaluation of Growth Behavior and Electrical Properties of Novel-Zr Precursor" / poster - 김형준

        "n-Type Heteromorphic Superlattice Oxide Semiconductor Using Atomic Layer Deposition" / poster - 유경훈       

Feb. 2024    2024년 1월 24일 ~ 26일에 열린 한국반도체학술대회에서 김태현 석사과정이 현장우수포스터상을 수상하여 상장을 수여받았습니다. 

 "Effects on Electrical Properties of TiO2-Based Capacitors by Improving Bulk and Interface Properties " / poster

숭실대학교 신소재공학과 이웅규 교수 연구실입니다.

반도체 박막 공정 연구실 (STP Lab.)에 오신 것을 환영합니다.

본 연구실에서는 다양한  반도체 박막을 증착하고, 새로운 반도체 소자를 제작하여 특성을 분석합니다. 반도체의 제작 공정과 반도체의 물리적, 화학적, 전기적 특성 분석에 대해 배우고 연구합니다. 반도체 박막의 성장 및  메모리, 디스플레이 소자에 관심이 있는 대학원생을 모집 중이니 많은 관심 바랍니다.

Welcome to Semiconductor Thin-film Process Laboratory (STP Lab) @ Soongsil University

We grow thin films and fabricate devices for memory (DRAM, RRAM, etc.) and display applications. We are currently  looking for the passionate graduate students who are interested in semiconductor physics and devices.