<Recent News>

JUN. 2026 제주 ICC에서 진행된 GCIM 에 교수님과 김형준 박사과정, 김주형, 조석호, 조승민 석사과정이 참가하였습니다.

                                    "Improvement of Interfacial Stability in ZrO2/TiN Capacitors during Crystallization Annealing Using TiO2 Interlayer by Atomic Layer Deposition"

 / oral- 김형준 박사과정

"Atomic-Scale Etch Control of ZrO2 Using SF6 Plasma and TiCl4  toward High-Performance DRAM Capacitors" / poster-  김주형 석사과정

"Enhanced Switching Uniformity in HfO2-Based RRAM  through Interfacial Layer Modulation via TiN Sputtering Pressure Control " / oral-  조석호 석사과정

"Atomic Layer Deposition of MoO2 Thin Films  for Rutile TiO2-Based DRAM Applications" / poster-  조승민 석사과정 

MAY 2026 가천대학교에서 진행된 반도체디스플레이기술학회에 교수님과 조승민 석사과정이 참가하였습니다.

"Atomic Layer Deposition of MoO2 Thin Films as Bottom Electrode for Rutile TiO2-Based DRAM Capacitor " / oral- 조승민 석사과정

APR. 2026  수원컨벤션센터에서 진행된 K-CHIPS Kick-off 에 교수님과 김형준 박사과정, 김주형, 조석호, 조승민, 권순빈, 안지원 석사과정이 참가하였습니다.

[HOT NEWS] 

Mar. 2026   김형준 박사과정이 제1저자로 참여한 논문이 Materials Horizons 지 inside front cover로 선정되었습니다. 축하합니다 !!

"Suppression of Low-k Interfacial Layers in ZrO₂/TiN Capacitors by Atomic Layer Deposition Using Ligand-Modified Zr Precursor" - Materials Horizons

본 소식은 중앙일보 등 11개 언론매체에 보도되었습니다.  

[중앙일보] 숭실대 이웅규 교수 연구팀, 국제학술지 ‘Materials Horizons’ Inside Front Cover 선정

[조선일보] 숭실대 이웅규 교수 연구팀, 국제학술지‘Materials Horizons’ Inside Front Cover 선정

[한겨레] 숭실대 이웅규 교수 연구팀, 국제학술지 ‘Materials Horizons’ Inside Front Cover 선정

[E동아] 숭실대 “이웅규 교수팀, 국제학술지 ‘Materials Horizons’ Inside Front Cover 선정”

숭실대학교 신소재공학과 이웅규 교수 연구실입니다.

반도체 박막 공정 연구실 (STP Lab.)에 오신 것을 환영합니다.

본 연구실에서는 다양한  반도체 박막을 증착하고, 새로운 반도체 소자를 제작하여 특성을 분석합니다. 반도체의 제작 공정과 반도체의 물리적, 화학적, 전기적 특성 분석에 대해 배우고 연구합니다. 반도체 박막의 성장 및  메모리, 뉴로모픽 소자에 관심이 있는 대학원생을 모집 중이니 많은 관심 바랍니다.

Welcome to Semiconductor Thin-film Process Laboratory (STP Lab) @ Soongsil University

We grow thin films and fabricate devices for memory (DRAM, RRAM, etc.) and neuromorphic device applications. We are currently  looking for the passionate graduate students who are interested in semiconductor physics and devices.