<Recent News>

Apr. 2025   양하람 석사과정이 제1저자로 참여한 논문이 accept되었습니다. 축하합니다!!

"Atomic Layer Etching of ZrO2 Thin Films for DRAM Capacitors Using NF3 Plasma and TiCl4" - Ceram. Int.

Apr. 2025   여수 expo에서 진행된 한국세라믹학회 춘계학술대회에 김형준 박사과정, 유경훈, 정상연, 홍주안 석사과정이 참가하였습니다

Apr. 2025   김형준 박사과정이 제1저자로 참여한 논문이 accept되었습니다. 축하합니다!!

"Effects of Work Function and Thermal Stability of Top Electrode Materials on Electrical Properties of ZrO2-Based DRAM Capacitors" 

- Electron. Mater. Lett.

Apr. 2025   수원컨벤션센터에서 진행된 K-CHIPS Kick-off 에 교수님과 김형준 박사과정, 유경훈, 정상연, 홍주안, 김주형, 조석호, 조승민 석사과정과

권순빈, 박지영 학부연구생이 참가하였습니다.

숭실대학교 신소재공학과 이웅규 교수 연구실입니다.

반도체 박막 공정 연구실 (STP Lab.)에 오신 것을 환영합니다.

본 연구실에서는 다양한  반도체 박막을 증착하고, 새로운 반도체 소자를 제작하여 특성을 분석합니다. 반도체의 제작 공정과 반도체의 물리적, 화학적, 전기적 특성 분석에 대해 배우고 연구합니다. 반도체 박막의 성장 및  메모리, 디스플레이 소자에 관심이 있는 대학원생을 모집 중이니 많은 관심 바랍니다.

Welcome to Semiconductor Thin-film Process Laboratory (STP Lab) @ Soongsil University

We grow thin films and fabricate devices for memory (DRAM, RRAM, etc.) and display applications. We are currently  looking for the passionate graduate students who are interested in semiconductor physics and devices.