News 2025

양하람 석사과정이 제1저자로 참여한 논문이 accept되었습니다. 축하합니다!!

"Atomic Layer Etching of ZrO2 Thin Films for DRAM Capacitors Using NF3 Plasma and TiCl4" - Ceram. Int.

여수 expo에서 진행된 한국세라믹학회 춘계학술대회에 김형준 박사과정, 유경훈, 정상연, 홍주안 석사과정이 참가하였습니다.

"Effect of Zr-Precursor Ligands Design on the Reactivity and Electrical Properties of ZrO2 Thin Films Grown by ALD"

/ poster - 김형준 박사과정

"High Mobility Oxide Semiconductor with Two-dimensional Electron Gas in Atomic Layer Deposited In2O3/Al2O3 Nanolaminate Structures"

/ poster - 유경훈 석사과정

"Optimized Atomic Layer Deposition Process for SrTiO3 Thin Films with Sr(dmts)(hfac)2 and (CpMe5)Ti(OMe)3 for High-k Applications"

/ oral - 정상연 석사과정

"Achieving a High Dielectric Constant in TiO2 Thin Films by Controlling Stoichiometry and Crystallinity through Ozone Post-Treatment"

/ oral - 홍주안 석사과정

김형준 박사과정이 제1저자로 참여한 논문이 accept되었습니다. 축하합니다!!

"Effects of Work Function and Thermal Stability of Top Electrode Materials on Electrical Properties of ZrO2-Based DRAM Capacitors" - Electron. Mater. Lett.

수원컨벤션센터에서 진행된 K-CHIPS Kick-off 에 교수님과 김형준 박사과정, 유경훈, 정상연, 홍주안, 김주형, 조석호, 조승민 석사과정과 권순빈, 박지영 학부연구생이 참가하였습니다.

신년을 맞아 졸업생들과 신년회를 개최하였습니다.

함께한 추억에 대한 따뜻한 이야기들이 많이 오갔습니다.

올해도 모두에게 행복한 한 해가 되길 진심으로 바랍니다. STPLab 파이팅!

조석호 석사과정이 제1저자로 참여한 논문이 accept되었습니다. 축하합니다!!

"Optimization of the Sputtering Process for TiN Thin Films as Electrodes in DRAM Capacitors " - Ceramist

석사생 김태현, 양하람, 이재준이 석사과정을 졸업했습니다. 

학부연구생 조석호, 조승민이 학사과정을 졸업했습니다.

졸업을 축하드리며, 새로운 시작을 응원합니다!

강원도 하이원리조트에서 진행된 2025년 반도체학술대회에 김형준 석박사 통합과정, 이재준, 양하람, 유경훈, 정상연, 홍주안 석사과정과 조석호, 조승민, 권순빈, 박지영 학부연구생이 참가하였습니다.

"Influence of Zr-Precursor Ligands on the Growth and Capacitor Properties of ZrO2 Thin Films Grown by ALD " / oral -  김형준 석박사 통합과정 

"Synthesis of Perovskite SrTiO3 Thin Films by Atomic Layer Deposition of SrF2 and TiO2" / oral -  이재준 석사과정 

"Development of Atomic Layer Etching of ZrO2 Thin Films Using NF3 Plasma and TiCl4" / oral - 양하람 석사과정  

"Mobility Improvement of Amorphous Insulator and Crystalline Semiconductor Nanolaminate Structure Grown by Atomic Layer Deposition" / poster - 유경훈 석사과정

"Synthesis of SrTiO3 Thin Films Using Atomic Layer Deposition with Sr(dmts)(hfac)2/Water and (CpMe5)Ti(OMe)3/Ozone on TiN Substrates" / poster - 정상연 석사과정

"Enhancement of Dielectric Constant through Highly Stoichiometric TiO2 Thin Films Using Ozone Post-treatment" / poster - 홍주안 석사과정

"Optimization of Sputtering Process of TiN Thin Films for Use as a Capacitor Electrode" / poster - 조석호 학부연구생  

"Annealing of Molybdenum Oxide Thin Films Grown by Atomic Layer Deposition" / poster - 조승민 학부연구생 

김형준 석박사 통합과정이 제1저자로 참여한 논문이 accept되었습니다. 축하합니다!!

"Improvement of Interfacial Electrical Properties of Au/ZrO2/Al2O3/TiN Capacitors by Reduction Effect of Ar Plasma Treatment"               - Ceramics Int.