Facility

Atomic Layer Deposition #1

CN-1  /  Atomic Basic




담당자 : 정상연, 이재준 

Atomic Layer Deposition #2    (Plasma ALD)

NAINSOL  / PEALD system





담당자 : 유경훈, 양하람

Atomic Layer Deposition #3

Ultech  / SPACE-T

Thermal ALD




담당자 : 홍주안, 김태현

Thermal Evaporator

I.T.S  /  Evaporator system





담당자 : 홍주안, 양하람

 O3  generator 

OZONE TECH / CN-1 



SHIN-A E&C Co., LTD. / Water Chiller







담당자 : 홍주안, 양하람

Microwave Annealing Furnace

Unicera  /  SINTERMAT 1600




담당자 : 홍주안, 양하람

X-ray Fluorescence (XRF)

Nayur  /  NDA-200

EDXRF



담당자 : 유경훈, 김태현

Ellipsometry

Gaertner Scientific Corporation  /  L116D




담당자 : 유경훈, 김형준

Probe Station 

MSTECH / MST 4000A



HP / 4284A LCR Meter

HP / 4145B Semiconductor Parameter  Analyzer




담당자 : 정상연, 이재준

4-Point Probe

AiT(Advanced Instrument Technology) / CMT-100A




담당자 : 유경훈, 김형준