News 2026

강원도 하이원리조트에서 진행된 2026년 반도체학술대회에 김형준 박사과정, 유경훈, 정상연, 홍주안, 김주형, 조석호, 조승민 석사과정과 권순빈, 안지원 학부연구생이 참가하였습니다.

"Atomic Layer Etching of ZrO2  Using SF6 Plasma and TiCl4 for DRAM Capacitors" / poster -  김주형 석사과정 

"Improved Switching Uniformity of HfO2-Based RRAM through Controlled TiN Deposition and Interfacial TiOxNy Engineering" 

/ poster - 조석호 석사과정  

"Atomic Layer Deposition of Molybdenum Oxide Thin Films and Electrical Properties under Various Annealing Conditions"

/ poster - 조승민 석사과정

이재준, 정상연 석사과정이 공동 제1저자로 참여한 논문이 accept되었습니다. 축하합니다!!

"Indirect Synthesis of Carbon-Free Perovskite SrTiO3 Thin Films via SrF2 and TiO2 ALD for DRAM Capacitors" - Applied Surface Science.

이예지 석사과정이 제1저자로 참여한 논문이 accept되었습니다. 축하합니다!!

"Synthesis of heteroleptic [Sr(ddemap)(tmhd)]2 and its use in atomic layer deposition of low carbon SrO thin films" - RSC Advances.