PatentS
PatentS
1. Robert P. H. Chang, Woongkyu Lee, "Superlattice films for photonic and electronic devices", Registration number US11658213B2, United States, 2023.05.23. [46]
11. 이웅규, 홍주안, "오존 후처리된 이산화 티타늄 유전체를 포함하는 커패시터 및 그 제조방법", 출원번호 10-2026-0028270, 대한민국, 2026.02.12. [61]
10. 이웅규, 양하람, "원자층 식각 공정을 이용한 3차원 반도체 소자의 제조 방법", PCT/KR2026/002340, PCT, 2026.02.09. [52]
9. 内山 陽平, 小次 洋平, 原田 了輔, 白畑 壮一, イ ウンギュ(이웅규), "ルテニウム酸化物薄膜の成膜方法", 出願番号 特願2025-085992, 日本 , 2025.5.23.
8. 이웅규, 유경훈, "2차원 전자 가스를 포함하는 반도체 소자 및 이의 제조 방법", 출원번호 10-2025-0057257, 대한민국, 2025.04.30. [53]
7. 이웅규, 조석호, "TiN 타겟을 이용한 RF 스퍼터링 기반 커패시터 전극 및 이 의 제조 방법", 출원번호 10-2025-0054579, 대한민국, 2025.04.25. [국1]
6. 이웅규, 김형준, "금속 공정 후 열처리가 적용된 MIM 커패시터 및 이의 제조 방법", 출원번호 10-2025-0054588, 대한민국, 2025.04.25. [51]
5. 이웅규, 양하람, "원자층 식각 공정을 이용한 3차원 반도체 소자의 제조 방법", 출원번호 10-2025-0048290, 대한민국, 2025.04.14. [52]
4. 이웅규, 김형준, "MIM 커패시터 및 이의 제조 방법", 출원번호 10-2025-0036388, 대한민국, 2025.03.21. [50]
3. 이웅규, 신근영, 이재준, 송기범, "멤리스터 소자 및 이의 제조 방법", 출원번호 10-2025-0027947, 대한민국, 2025.03.05. [47]
2. 박흔 이웅규 나현민 김갑영, "캐패시터", 출원번호 10-2024-0025081, 대한민국, 2024.02.21. [49]
1. Robert P. H. Chang, Woongkyu Lee, "Superlattice films for photonic and electronic devices", PCT/US2019/038721, PCT, 2019.06.24. [46]