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[HOT NEWS] 

APR. 2026  수원컨벤션센터에서 진행된 K-CHIPS Kick-off 에 교수님과 김형준 박사과정, 김주형, 조석호, 조승민, 권순빈, 안지원 석사과정이 참가하였습니다.

APR. 2026 부산 Bexco에서 진행된 한국세라믹학회 춘계학술대회에 김형준 박사과정, 김주형, 조석호, 조승민, 권순빈, 안지원 석사과정이 참가하였습니다.

"SF6 플라즈마와 TiCl4를 이용한 DRAM 커패시터용 ZrO2의 원자층 식각 " / oral-  김주형 석사과정

"Atomic Layer Deposition of Molybdenum Oxide Thin Films and Electrical Properties under Various Annealing Conditions" / poster-  조승민 석사과정 

"Effect of Top Electrode Material and Post-Metallization Annealing  on Electrical Properties of ZrO2-Based Capacitors" / poster-   권순빈 석사과정

"Phase Formation and Electrical Property Improvement of ALD Mo-Based Thin Films via Post-Treatment" / poster-  안지원 석사과정

Mar. 2026   김형준 박사과정이 제1저자로 참여한 논문이 Materials Horizons 지 inside front cover로 선정되었습니다. 축하합니다 !!

"Suppression of Low-k Interfacial Layers in ZrO₂/TiN Capacitors by Atomic Layer Deposition Using Ligand-Modified Zr Precursor" - Materials Horizons

본 소식은 중앙일보 등 11개 언론매체에 보도되었습니다.  

[중앙일보] 숭실대 이웅규 교수 연구팀, 국제학술지 ‘Materials Horizons’ Inside Front Cover 선정

[조선일보] 숭실대 이웅규 교수 연구팀, 국제학술지‘Materials Horizons’ Inside Front Cover 선정

[한겨레] 숭실대 이웅규 교수 연구팀, 국제학술지 ‘Materials Horizons’ Inside Front Cover 선정

[E동아] 숭실대 “이웅규 교수팀, 국제학술지 ‘Materials Horizons’ Inside Front Cover 선정”

숭실대학교 신소재공학과 이웅규 교수 연구실입니다.

반도체 박막 공정 연구실 (STP Lab.)에 오신 것을 환영합니다.

본 연구실에서는 다양한  반도체 박막을 증착하고, 새로운 반도체 소자를 제작하여 특성을 분석합니다. 반도체의 제작 공정과 반도체의 물리적, 화학적, 전기적 특성 분석에 대해 배우고 연구합니다. 반도체 박막의 성장 및  메모리, 뉴로모픽 소자에 관심이 있는 대학원생을 모집 중이니 많은 관심 바랍니다.

Welcome to Semiconductor Thin-film Process Laboratory (STP Lab) @ Soongsil University

We grow thin films and fabricate devices for memory (DRAM, RRAM, etc.) and neuromorphic device applications. We are currently  looking for the passionate graduate students who are interested in semiconductor physics and devices.